Erimiş silikon camın yapısı gevşek, yüksek sıcaklıklarda ağından bazı gazların iyonlarının yayılmasına izin verir, bunların arasında sodyum iyon difüzyonu nispeten hızlıdır.
Erimiş silikon camının bu özelliği kullanıcılar için çok önemlidir. Örneğin, erimiş silikon camı yarı iletken endüstrisinde yüksek sıcaklıklı kaplar veya difüzyon tüpleri olarak kullanıldığında,Yarım iletken malzemeler son derece yüksek saflığa ihtiyaç duyarBu nedenle, the refractory materials used as furnace linings that come into contact with fused silica glass must undergo high-temperature and cleaning treatment in advance to remove alkaline impurities such as potassium and sodium before being placed inside the fused silica glass for use.
Oda sıcaklığında, erimiş silikon camı gazlara geçirmez olarak kabul edilebilir. Yüksek sıcaklıklarda bile (örneğin 700 ° C), bazı gazların geçirgenlik sabitleri çok küçüktür.Yüksek sıcaklıklı ve yüksek vakumlu ekipmanlarda uygulanabilir.