Yüksek Sıcaklık Kalınlaştırılmış 9 İnç Wafer Kalibrasyon Kuvars Cam Levha

Kalınlaştırılmış 9 inçlik Wafer Kalibrasyon Cam Plate, yarı iletken wafer boyutu, görünümü ve düzlük kontrolü için tasarlanmış hassas optik referans substratıdır.Yüksek geçirgenlikli erimiş silikon veya alkali içermeyen borosilikat camdan üretilmiştir, bu kalibrasyon plaka, tekrarlanan denetim döngüleri sırasında bükülmeye ve bükülmeye karşı dirençli özel bir kalınlaştırılmış yapı sunarken standart 9 inçlik wafer boyutuna uyuyor.Çift taraflı ultra hassas cilalanmış yüzeyler optik derecede düzlük ve paralellik sağlar, Otomatik optik denetim sistemleri için istikrarlı bir geometrik baz çizgisi sağlar.Plak uzun üretim süreleri boyunca ölçüm verilerinin tutarlı ve tekrarlanabilir kalmasını sağlar., wafer üretimi, litografi hizalama ve optik görüntü ölçüm uygulamaları için gerekli bir araç haline getirir.

• Sertlik için kalınlaştırılmış yapı:Güçlendirilmiş levha, denetim sırasında çarpıklık ve deformasyonu önler, istikrarlı ve tekrarlanabilir kalibrasyon verileri sağlar.
• İki taraflı ultra hassas optik cilalama:Yüzeyleri çizik, çukur, kabarcık ve taşlardan arındırılmış, optik düzeyde düzlük ve paralellik göstermiştir.
• UV'den görünür ışığa eşit yüksek geçirgenlik:Yüksek saflıkta olan substrat, sapık ışık müdahalelerini en aza indirir ve AOI otomatik optik denetim ekipmanlarıyla tamamen uyumludur.
• Düşük termal genişleme katsayısı:Sıcaklık değişikliği altında minimum deformasyon, referans geometrisini istikrarlı tutar ve malzeme asit ve alkali temizleme çözümlerine direnir.
• Hızlı çemberlenmiş kenarlar:Parçalanmaz kenarlar, levhaları ve inceleme lenslerini kullanma ve yükleme sırasında çiziklerden korur.

Kalınlaştırılmış 9 inçlik Wafer Kalibrasyon Cam Plağı, yarı iletken üretim ve denetim ortamlarında çok yönlü bir optik referans olarak hizmet eder.9 inçlik silikon wafer boyut kalibrasyonu için yaygın olarak kullanılır, ölçüm araçlarının doğruluğunu doğrulayan güvenilir bir geometrik standart sağlar.Optik seviye yüzey, yüzey tekdüzeliğini karşılaştırmak ve sapma tespit etmek için güvenilir bir referans bazası olarak çalışır.Plaka ayrıca boyut analizi sırasında tutarlı konumlandırmayı destekleyen optik görüntü ölçüm cihazları için standart bir taşıyıcı olarak da çalışır.Tam bir desen kaydını korumaya yardımcı olan bir hizalama kalibrasyon plağı olarak çalışırEk olarak, plaka, otomatik kusur tespit sistemleri için düz, istikrarlı ve kirliliksiz bir platform sunan vafelerin yüzey kusurlarının kontrolü için bir sabitleme tabanı olarak kabul edilir.

• Eğime karşı kalınlaştırılmış plaka:Güçlendirilmiş yapı, uzun süreli kitle denetimi sırasında referans kaymasını önler ve kalibrasyon sonuçlarını bir geçişten sonra güvenilir tutar.
• Yağışsız yüksek saflıklı malzeme:Temiz substrat kirletici madde yaymaz, bu da vafeleri temas denetimi sırasında kirliliğe karşı korur.
• Tam özelleştirme mevcut:Kalınlık, optik kaplama, hizalama ölçeği işareti, yuvalama ve sondaj, hepsi müşteri gereksinimlerine göre uyarlanabilir.
• Yüksek tek parça tutarlılığı:Sıkı üretim kontrolü, plakların aynı performansı olan birden fazla denetim makinesinde birbirini değiştirebilmesini sağlar.